真空的衡量.pdf

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真空的衡量.pdf

1 1、真空度真空度:真空泵真空的衡量真空泵真空的衡量真空环境中,气体稀薄程度的一种客观量度。通常都用气体压强来表示，气体压强越低，表示真空度越高；反之压强越高，真空度越低。真空常用帕斯卡（Pascal）或托尔（Torr）做为压力的单位。常用单位有：大气压(atm):标准的大气压力定义为 1 atm帕(Pa):(常用单位：Pa)毫巴(millibar):(常用单位：mbar)托(Torricelli):(常用单位：torr)常用单位换算：单位名称1 帕/Pa1 托/Torr1 毫巴/mbar1 大气压/atm帕/Pa11.3331021021105托/Torr7.50110-317.50110-760.00毫巴/mbar10-21.3310-11103大气压/atm110-51.3310-3110-312 2、流量：流量：指的是单位时间内流经封管道有效截面的流体量，又称瞬时流量，真空泵抽的是气体，以体积为单位，通常用 m3/或 l/s 为他的单位。1 m3=1000L1 m3/h=1000L/3600S=0.27778L/S 1L/S=0.001 m3/1/3600h=3.6 m3/h1L/min=0.001 m3/1/60h=0.06 m3/h CFM 是流量单位cubic feet perminute 立方英尺每分钟 CMM、CFM 都是指每分钟所排出空气体积，前者单位为立方米/每分；后者单位为立方英呎/每分钟。1CMM=35.3CFM。升/秒单位(L/s)升/秒1(L/s)升/分60(L/min)升/时360(L/h)3升/分(L/min)升/时(L/h)米/时(m/h)33CFM1/601/36003.62.1211/600.06127.26010.0017632米/时(m/h)CFM30.2778(1/3.6)16.667(1/0.06)100010.5890.4720.0.007861/76321.6991

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