透射电镜的主要性能参数及测定介绍(共2页).docx
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1、精选优质文档-倾情为你奉上透射电镜的主要性能参数及测定介绍透射电镜的主要性能参数及测定 2.3.1 主要性能参数分辨率;放大倍数;加速电压 2.3.2 分辨率及其测定 1. 点分辨率透射电镜刚能分清的两个独立颗粒的间隙或中心距离。测定方法:Pt 或贵金属蒸发法。 如图所示。 将 Pt 或贵金属真空加热蒸发到支持膜(火棉胶、碳膜)上,可得到粒径 0.5-1nm、间距0.2-1nm 的粒子。高倍下拍摄粒子像,再光学放大 5 倍,从照片上找粒子间最小间距,除以总放大倍数,即为相应的点分辨率。2. 晶格分辨率当电子束射入样品后,通过样品的透射束和衍射束间存在位相差。由于透射和衍射束间的位相不同,它们间
2、通过动力学干涉在相平面上形成能反映晶面间距大小和晶面方向的条纹像,即晶格条纹像,如下图 2-9 所示。晶格分辨率与点分辨率是不同的,点分辨率就是实际分辨率,晶格分辨率的晶格条纹像是因位相差引起的干涉条纹,实际是晶面间距的比例图像。测定方法:利用外延生长方法制得的定向单晶薄膜做标样,拍摄晶格像。测定晶格分辨率常用的晶体见下表。根据仪器分辨率的高低选择晶面间距不同的样品做标样。图 2-9 晶格分辨率测定金(220)、(200)晶格像表 21 测定晶格分辨率常用晶体2.3.3 放大倍数透射电镜的放大倍数随样品平面高度、加速电压、透镜电流而变化。TEM 在使用过程中,各元件的电磁参数会发生少量变化,从
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