等离子体学习教案.pptx
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1、会计学1等离子体等离子体(dnglzt)第一页,共29页。第1页/共29页第二页,共29页。n离子体,离子温度和电子(dinz)温度n都很高。第2页/共29页第三页,共29页。第3页/共29页第四页,共29页。固体固体 液体液体 气体气体 等离子体等离子体 能量能量 能量能量 能量能量等离子体等离子体(dnglzt)的形成的形成物质的四种(s zhn)状态第4页/共29页第五页,共29页。第5页/共29页第六页,共29页。第6页/共29页第七页,共29页。低温等离子体(dnglzt)的建立系统;水平式和垂直式等离子体(dnglzt)工业生产模型产生低温等离子体(dnglzt)系统第7页/共29
2、页第八页,共29页。等离子体主要用于以下3方面:离子体冶炼:用于难于冶炼的材料,例如高熔点的锆(Zr)、钛(Ti)、钽(Ta)、铌(Nb)、钒(V)、钨(W)等金属;还用于简化工艺过程,例如直接从ZrCl、MoS、TaO和TiCl中分别等离子体获得Zr、Mo、Ta和Ti;可开发硬的高熔点粉末,如碳化钨-钴。 等离子体喷涂:用等离子体沉积快速固化法可将特种材料粉末喷入热等离子体中熔化,并喷涂到基体(部件(bjin))上,使之迅速冷却、固化,形成接近网状结构的表层,这可大大提高喷涂质量。 等离子体焊接:可用以焊接钢、合金钢;铝、铜、钛等及其合金。特点是焊缝平整,可以再加工没有氧化物杂质,焊接速度快
3、。用于切割钢、铝及其合金,切割厚度大。第8页/共29页第九页,共29页。 等离子体(dnglzt)主要作用: 清洁:去除表面有机物污染和氧化物 刻蚀:化学反应性刻蚀、物理刻蚀 改性:粗化、交联3、等离子体(dnglzt)的主要用途半导体IC行业蚀刻小孔,精细(jngx)线路的加工IC芯片表面清洗绑定打线沉积薄膜纺织行业纺织纤维表面改性;生物和医疗行业半透膜表面亲水的改性;医疗器械的清洁镀膜物理气相沉积(PVD)镀膜;化学气相沉积(CVD)镀膜;磁控溅射镀膜;第9页/共29页第十页,共29页。11图3 磁控溅射原理图磁控溅射磁控溅射:基本原理就是以磁场改变基本原理就是以磁场改变(gibin)电子
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