LED发光原理与显示屏的制造.pptx
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1、LED工艺简介工艺简介1LEDLED的芯片结构的芯片结构LED的发光原理的发光原理LED的工艺流程的工艺流程2LED的内部是什么?的内部是什么?31 . LED芯片芯片 N型氮化型氮化物半导体物半导体层层P型氮化型氮化物半导物半导体层体层发光层发光层发光发光层层透明电极透明电极透明电极透明电极P侧电极板侧电极板P侧电极板侧电极板N侧电极板侧电极板N侧电极板侧电极板V电极电极LED芯片芯片L电极电极LED芯片芯片4LED是如何发光的?是如何发光的?52 . LED发光原理发光原理EFVD形成结形成结空间电荷区空间电荷区p型型n型型自由电子自由电子空穴空穴EFVD-V形成结形成结空间电荷区空间电荷
2、区p型型n型型自由电子自由电子空穴空穴正向电压正向电压+光、热光、热导带导带禁带禁带价带价带VD:扩散电位:扩散电位 未施加外电压的平衡状态未施加外电压的平衡状态施加施加p型为正、型为正、n型为负的电压后型为负的电压后发光层发光层6参考文献:参考文献:LED照明设计与应用作者:照明设计与应用作者:(日日)LED照明推进协会照明推进协会|译者译者:李农李农/杨燕杨燕为什么为什么LED会发不同颜色的光?会发不同颜色的光?7LED发光波长取决于什么因素发光波长取决于 禁带宽度: = 1240/Eg (nm)可见光的波长范 围:380nm -800 nm,对应的禁带 宽度约3.31.6eV通过形成混晶
3、可 以实现发光波长 的连续变化。8参考文献:参考文献:Introduction to Nitride Semiconductor Blue Lasers and Light Emitting Diodes混晶的发光波长混晶的发光波长9用不同颜色及数目LED加荧光粉所做成的白光LED的优点及缺点10LED 发光管是怎样发光管是怎样“练练”成的成的Sapphire蓝宝石蓝宝石11LED生产流程图基板(衬底 )磊晶制程磊晶片清洗蒸镀光刻作业化学刻蚀熔合研磨切割单晶炉、切片机磨片机、抛光机外延炉(MOCVD)清洗机、烘箱蒸镀机/电子枪烘烤 上光阻照相曝光 显影刻蚀机减薄机清洗机切割机、清洗机、甩干机测
4、试探針测试台颗粒度检测仪封裝12MOCVD外延蓝宝石蓝宝石缓冲层缓冲层N-GaNp-GaNMQWMOCVD是金属有机化合物化学气相淀积是金属有机化合物化学气相淀积(Metal-organic Chemical Vapor DePosition)的英文缩写的英文缩写 MOCVDMOCVD技术具有下列优点技术具有下列优点: :(l)(l)适用范围广泛,几乎可以生长所有化合物及合金半导体适用范围广泛,几乎可以生长所有化合物及合金半导体; ;(2)(2)非常适合于生长各种异质结构材料非常适合于生长各种异质结构材料; ;(3)(3)可以生长超薄外延层,并能获得很陡的界面过渡可以生长超薄外延层,并能获得很
5、陡的界面过渡; ;(4)(4)生长易于控制生长易于控制; ;(5)(5)可以生长纯度很高的材料可以生长纯度很高的材料; ;(6)(6)外延层大面积均匀性良好外延层大面积均匀性良好; ;(7)(7)可以进行大规模生产。可以进行大规模生产。13清洗清洗有机物有机物金属离子金属离子清洗:通过有机溶剂的溶解作用,结合超声波清洗清洗:通过有机溶剂的溶解作用,结合超声波清洗技术去除硅片表面的有机杂质和金属离子。技术去除硅片表面的有机杂质和金属离子。主要溶剂有:主要溶剂有:H2SO4溶液、溶液、H2O2溶液、氢氟酸溶液、盐溶液、氢氟酸溶液、盐酸、酸、NH4OH等等14n区光刻区光刻正性光刻胶正性光刻胶光刻掩
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- 关 键 词:
- LED 发光 原理 显示屏 制造
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