等离子体简介课件.ppt
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1、低温等离子体简介姓名:xxx20 xx年x月x日X级xx专业x班学号:xxxxxxxxx指导老师:xxx老师前言n看似“神秘”的等离子体,其实是宇宙中一种常见的物质,在太阳、恒星、闪电中都存在等离子体,它占了整个宇宙的99%。现在人们已经掌握利用电场和磁场产生来控制等离子体。那么大家就思考一下什么是等离子体呢?一:等离子体的概念等离子体又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质,它广泛存在于宇宙中,常被视为是除去固、液、气外,物质存在的第四态。等离子体等离子体极光二:等离子体的产生的过程少数离子或电子在高频高压电场中被加速而得到较大动能,能量足够大
2、的粒子碰到其他分子使其电离产生新的自由电子、离子、自由基等粒子,其中荷电粒子又被继续加速,在碰到其他分子如此循环反复形成等离子体三:等离子体的分类(1):高温等离子体(2):低温等离子体(3):混合等离子体(1):高温等离子体由大气电弧、电火花和火焰产生的,组成等离子体的分子、离子和电子都处于热平衡,温度高达几千度,也称平衡态等离子体和热等离子体!(2):低温等离子体在减压(1.331330Pa)和高频电场下发生辉光放电,少量气体分子被电离产生高温电子,穿梭在常温或接近常温的气体中发生碰撞,此时电子温度高达104105K,而气体的离子和分子的温度与环境相同,约10K,远远低于电子的温度,是一种
3、非平衡体系,也称为非平衡等离子体和冷等离子体。低温等离子体(3):混合等离子体在常压或低于常压下,使用550kV直流或高阻抗的电源,在电极间发生电晕放电或臭氧发生器产生的等离子体,一般也将其归入低温等离子体的范畴!四:低温等离子体中基本粒子能量范围n电子020eVn离子02eVn亚稳态离子020eVn紫外光/可见光340eV五:等离子体的应用现在,低温等离子体物理与应用已经是一个具有全球影响的重要的科学与工程,对高科技经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。例如,1995年全球微电子工业的销售额达1400亿美元,而三分之一微电子器件设备采用等离子体技术。塑料包装材料百分之九十都要经过低温等离
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